露点不是气体本身自带的属性!露点只代表里面混进去的水蒸气多少。同样是氩气,做得好可以 - 90℃露点;做得差,露点 - 20℃也很常见。只是惰性高纯气体更容易做到极低含水量(很低露点)。


工业上容易做到【低露点】的几种(常用排序)

  1. 氩气 Ar(超纯 6N):半导体常用,轻松做到 -80 ~ -90℃露点(ppb 级别水),很多高纯工艺优选,水分可以压到低一档

  2. 氦气 He(超纯 6N):也可以做到 - 80℃以下,但是贵,检漏用得多,一般不会用来做吹扫干燥气

  3. 氮气 N?(超纯 6N):性价比高,常规高纯氮 - 70℃左右,超纯氮可以到 - 80℃,制氢、固化炉、吹扫大量用

  4. 氢气 H?(超纯):也能做到很低露点,但有防爆风险,测点要选防爆型露点仪

  5. 氧气 O?(高纯):可以做到 - 70℃左右,比上面几个惰性气略难一点

  6. 干燥压缩空气 CDA:常规吸附式干燥机一般 - 40℃, ISO8573 Class1 可以做到 - 70℃,比高纯惰性气上限差一点

? 二氧化碳 CO?:很难做到很低露点,一般也就 - 40~-60℃,不适合超干要求


一张好记的对比(市场常规供货指标,常压露点)

  • 超纯氩 / 超纯氦:-80 ~ -90℃(水含量<0.5ppm,甚至 ppb)

  • 超纯氮气:-70 ~ -80℃

  • 高纯氢气、高纯氧:-60 ~ -70℃

  • 干燥压缩空气:-70℃

  • 普通吸干机压缩空气:-40℃